申请/专利权人：福建金石能源有限公司

申请日：2023-06-30

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703791U

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及一种管式PECVD设备用石墨舟，它包括绝缘间隔布设的多片石墨舟片；所述石墨舟片在各个片位的内部区域开设有片位通孔，所述片位通孔中安装有易导电的良导体片。本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD设备用石墨舟，提高片位的导电性能，让反应气体在低温条件迅速离化，利于均匀成膜。

主权项：1.一种管式PECVD设备用石墨舟，其特征在于：它包括绝缘间隔布设的多片石墨舟片；所述石墨舟片在各个片位的内部区域开设有片位通孔，所述片位通孔中安装有易导电的良导体片；所述良导体片的厚度不超过石墨舟片的厚度，所述良导体片的外表面不凸出石墨舟片的外表面；相邻石墨舟片之间设有沿石墨舟片延伸方向安装且位于各个片位通孔旁侧的绝缘柱；所述绝缘柱上设有标示其所在纵横方位且易识别的位置标识；所述位置标识由行标示和列标示的组合构成，以各个片位通孔之间的间隔为行通过数字或字母进行行标示，以各片石墨舟片之间的间隔为列通过数字或字母进行列标示。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建金石能源有限公司 一种管式PECVD设备用石墨舟

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