申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社
申请日:2020-03-17
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN113632244B
主分类号:H01L31/107
分类号:H01L31/107;H01L27/146
优先权:["20190329 JP 2019-067624"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开
摘要:光检测器1是具备以阵列状配置有多个像素11的像素阵列10的光检测器1,多个像素11分别包括:第1导电型的第1半导体层12;第1导电型的第2半导体层13,位于第1半导体层12的上方,杂质浓度比第1半导体层12低;以及第2导电型的第1半导体区域14,形成于第2半导体层13,并与第1半导体层12接合,第2导电型与第1导电型不同;第1半导体层12及第1半导体区域14形成通过雪崩倍增而电荷被倍增的倍增区域15;像素阵列10包括形成于第2半导体层13的第1导电型的第1分离部16、以及形成于第1半导体层12的第1导电型的第2分离部17。
主权项:1.一种光检测器,具备以阵列状配置有多个像素的像素阵列,其中,上述多个像素分别包括:第1导电型的第1半导体层;上述第1导电型的第2半导体层,位于上述第1半导体层的上方,杂质浓度比上述第1半导体层低;以及第2导电型的第1半导体区域,形成于上述第2半导体层,并与上述第1半导体层接合,上述第2导电型与上述第1导电型不同;上述第1半导体层及上述第1半导体区域形成通过雪崩倍增而电荷被倍增的倍增区域;上述像素阵列包括形成于上述第2半导体层的上述第1导电型的第1分离部、以及形成于上述第1半导体层的上述第1导电型的第2分离部;上述第1分离部与上述第2分离部分离而配置;在上述像素阵列的平面图中,上述第2分离部与上述倍增区域的至少一部分重叠。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 松下知识产权经营株式会社 光检测器
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