申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-05-16

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746054U

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;H01L21/67

优先权：["20220516 KR 10-2022-0059657"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型提供一种掩模组件及沉积设备。掩模组件包括：框架，包括框架开口部；开放片材，包括与所述框架开口部对应的多个片材开口部及分别包围所述多个片材开口部的多个孔组，并且与所述框架结合；以及多个掩模，以与所述多个片材开口部中的对应的片材开口部对齐的方式与所述开放片材结合，其中，所述多个掩模中的每一个与所述多个孔组中的对应的孔组的吸附孔重叠。

主权项：1.一种掩模组件，其特征在于，包括：框架，包括框架开口部；开放片材，包括与所述框架开口部对应的多个片材开口部及分别包围所述多个片材开口部的多个孔组，并且与所述框架结合；以及多个掩模，以与所述多个片材开口部中的对应的片材开口部对齐的方式与所述开放片材结合，其中，所述多个掩模中的每一个与所述多个孔组中的对应的孔组的吸附孔重叠。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 掩模组件及沉积设备

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