申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2020-03-20

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN111736430B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/00

优先权：["20190325 JP 2019-057091"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2021.04.09#实质审查的生效;2020.10.02#公开

摘要：本发明涉及快门装置、曝光装置以及物品制造方法。提供对更可靠地防止快门部件的破损有利的技术。快门装置具备切断光束的快门部件、对所述快门部件进行旋转驱动的旋转机构以及配置有光路以检测所述快门部件的变形的光学传感器，所述光路的方向是相对与所述快门部件的旋转轴平行的直线倾斜的方向。

主权项：1.一种快门装置，具有切断光束的快门部件以及对所述快门部件进行旋转驱动的旋转机构，其特征在于，具备配置有光路以检测所述快门部件的变形的光学传感器，所述光路的方向是在包含所述快门部件的旋转轴的剖面中，并且相对与所述旋转轴平行的直线倾斜的方向，所述光路的方向与所述直线所成的角度是30度以上并且60度以下。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 快门装置、曝光装置以及物品制造方法

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