申请/专利权人：三星电子株式会社

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872682A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20221011 KR 10-2022-0129556"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：一种极紫外光源装置，包括：腔室，其具有下表面、中间焦点、在下表面和上表面之间的侧表面、第一排气口以及第二排气口，在下表面上布置有聚光镜，在上表面上具有第二排气口，并且第二排气口与中间焦点间隔开；液滴供应装置，其与腔室的侧表面相邻，并且被构造为将液滴供应至腔室中以生成极紫外光；光源，其被构造为通过使激光振荡来生成极紫外光；捕捉器，其与腔室的侧表面相邻，与液滴供应装置相对，并且被构造为接收从液滴供应装置排出的液滴；第一排气单元，其连接到第一排气口；以及第二排气单元，其与腔室的上表面相邻，并且连接到第二排气口。

主权项：1.一种极紫外光源装置，包括：腔室，其具有下表面，在所述下表面上布置有聚光镜，所述腔室具有上表面，所述上表面具有中间焦点，所述中间焦点被构造为发射由所述聚光镜反射的极紫外光，并且所述腔室具有在所述下表面与所述上表面之间的侧表面，所述腔室包括在所述侧表面上的第一排气口以及在所述上表面上并且与所述中间焦点间隔开的第二排气口；液滴供应装置，其与所述腔室的所述侧表面相邻，并且被构造为供应液滴以在所述腔室中生成所述极紫外光；光源，其与所述腔室的所述下表面相邻，并且被构造为通过使激光振荡来从所述液滴生成所述极紫外光；捕捉器，其与所述腔室的所述侧表面相邻，与所述液滴供应装置相对，并且被构造为接收从所述液滴供应装置排出的所述液滴；第一排气单元，其与所述腔室的所述侧表面相邻，并且连接到所述第一排气口；以及第二排气单元，其与所述腔室的所述上表面相邻，并且连接到所述第二排气口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电子株式会社 极紫外光源装置

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