申请/专利权人：苏州跃芯微传感技术有限公司

申请日：2022-10-10

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870916A

主分类号：G01L1/18

分类号：G01L1/18;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供一种MEMS压力传感器及其制作方法，其中，MEMS压力传感器包括：第一衬底，其具有正面和背面；结构层，其包括器件层、绝缘阻挡层和掺杂层，且所述器件层、绝缘阻挡层和掺杂层自所述第一衬底的正面且沿所述第一衬底的背面向正面的指向依次层叠设置；背腔，其设置于所述第一衬底中；敏感结构，其是通过图形化所述结构层远离所述第一衬底的一侧形成的，且所述敏感结构与所述背腔相对。与现有技术相比，本发明可以阻断敏感结构与其下方衬底之间的漏电流，同时阻止敏感结构中的杂质进一步扩散，从而提高敏感结构的掺杂浓度，降低温度对压阻式压力传感器的输出特性的影响。

主权项：1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，其包括：第一衬底，其具有正面和背面；结构层，其包括器件层、绝缘阻挡层和掺杂层，且所述器件层、绝缘阻挡层和掺杂层自所述第一衬底的正面且沿所述第一衬底的背面向正面的指向依次层叠设置；背腔，其设置于所述第一衬底中；敏感结构，其是通过图形化所述结构层远离所述第一衬底的一侧形成的，且所述敏感结构与所述背腔相对。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州跃芯微传感技术有限公司 一种MEMS压力传感器及其制作方法

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