申请/专利权人：清华大学

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871613A

主分类号：G01N27/00

分类号：G01N27/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请提供一种具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法。该方法包括：基于所述待测样品的表面形态获取至少一个待测的目标区域；基于所述待测样品的电荷注入状态，获取所述目标区域的表面电势；基于所述表面电势获取所述目标区域的电荷陷阱参数。本申请的方法，增加了实现对纳米级的电介质材料的进行电荷陷阱参数测试，能得到用于准确反映电介质材料电性能的电荷陷阱参数。

主权项：1.一种电荷陷阱参数测试方法，其特征在于，包括：基于待测样品的表面形态获取至少一个待测的目标区域；基于所述待测样品的电荷注入状态，获取所述目标区域的表面电势；基于所述表面电势获取所述目标区域的电荷陷阱参数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法

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