申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878034A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;F27B1/20;F27B1/26;F27B1/10;F27D1/18;F27D7/02;H01L21/673;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置及转送控制方法，装置包括安装基板，安装基板内侧设有隔离腔室，隔离腔室内部设有多个用于放置片盒的片盒座，隔离腔室朝向晶圆搬运机械手和片盒搬运机械手的两侧均设有自动启闭并且与隔离腔室密封连接的隔离门组件；隔离腔室中还设有气体组件，气体组件用于控制惰性气体进出隔离腔室内部，并检测隔离腔室内部的氧气含量，以实现隔离腔室内填充惰性气体而隔绝空气。本发明具有结构紧凑、操作简便、密封性能好且自动化程度高等优点，解决了现有立式炉因晶圆片盒进出料过程中混入空气而影响设备内部微环境和低氧气含量氛围，造成晶圆被污染、自然氧化等问题，提高了晶圆片盒传输的可靠性和安全性。

主权项：1.一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置，在立式炉设备内部，晶圆装载区与片盒传送区的传递通过晶圆搬运机械手1、晶圆片盒转送装置2和片盒搬运机械手3三部分配合实现，其特征在于，所述晶圆片盒转送装置2包括安装基板12，所述安装基板12内侧设有隔离腔室100，所述隔离腔室100内部设有多个用于放置片盒8的片盒座18，所述隔离腔室100朝向晶圆搬运机械手1和片盒搬运机械手3的两侧均设有自动启闭并且与隔离腔室100密封连接的隔离门组件；所述隔离腔室100中还设有气体组件，所述气体组件用于控制惰性气体进出隔离腔室100内部，并检测隔离腔室100内部的氧气含量，以实现隔离腔室100内填充惰性气体而隔绝空气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置及转送控制方法

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