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【发明授权】一种高亮度半导体激光模块_北京工业大学_202210975626.9 

申请/专利权人:北京工业大学

申请日:2022-08-15

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN115173219B

主分类号:H01S5/02326

分类号:H01S5/02326;H01S5/0225;H01S5/02251;H01S5/02255;H01S5/02315;H01S5/024;H01S5/40

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2022.10.11#公开

摘要:本发明公开了一种高亮度半导体激光模块,属于半导体激光器技术领域,包括基座和设置于第一、第二二维激光阵列光源内的快轴准直镜,与第一、第二二维激光阵列光源内包含的多个单管相对应;第一、第二二维激光阵列光源的光束经快轴准直镜、慢轴准直阵列准直,其中一半准直后的光束由半波片改变偏振态进入光束变换系统后,与另一半准直后直接进入光束变换系统由反射镜转向后的光束经偏振合束器完成合束;合束后光束经设置于基座上的光束平移系统、扩束系统、聚焦镜后耦合进光纤。本发明缩小了绿光半导体激光器模块体积,改善二维激光阵列光源的光束质量,使得准直后的光束经聚焦可以耦合进小数值孔径光纤,实现绿光半导体激光高亮度光纤耦合输出。

主权项:1.一种高亮度半导体激光模块,其特征在于,包括基座和设于基座一端且位于同一平面的第一二维激光阵列光源和第二二维激光阵列光源,所述第一二维激光阵列光源和第二二维激光阵列光源内均设有多个单管,且每个所述单管的光路方向均设有快轴准直镜;所述第一二维激光阵列光源的快轴准直镜的出光方向上依次设有第一慢轴准直阵列和第一光束变换系统,所述第二二维激光阵列光源的快轴准直镜的出光方向上依次设有第二慢轴准直阵列、半波片、第二光束变换系统和反射镜;所述快轴准直镜、慢轴准直阵列依次对对应的所述单管发出的快、慢轴光束进行准直,经所述第二慢轴准直阵列准直的第二光束由所述半波片改变偏振状态后依次进入所述第二光束变换系统和反射镜,经所述反射镜转向后的所述第二光束与经所述第一慢轴准直阵列准直后直接进入所述第一光束变换系统的第一光束经设于所述基座上的偏振合束器完成合束;合束后的光束依次经过设置于所述基座上的光束平移系统、扩束系统和聚焦镜后耦合进光纤;所述基座为长条形基座,沿所述长条形基座的长边方向在所述长条形基座的一侧竖直固定安装有散热板;所述第一二维激光阵列光源和第二二维激光阵列光源沿快轴方向可拆卸式固定安装在所述散热板上,且与所述长条形基座相垂直;所述第一二维激光阵列光源和所述第二二维激光阵列光源的激光波长均在绿光波段,每个所述单管的有源宽度均在15-20μm;所述第一慢轴准直阵列垂直于所述长条形基座且与所述第一二维激光阵列光源平行设置;所述第二慢轴准直阵列和半波片均垂直于所述长条形基座且与所述第二二维激光阵列光源平行设置;所述第一光束变换系统和第二光束变换系统均包括光束变换反射镜组和光束压缩反射镜;所述光束变换反射镜组包括以一定角度倾斜设置的第一光束反射镜和第二光束反射镜,所述第一光束反射镜和第二光束反射镜沿竖直方向上下平行设置;经第一慢轴准直阵列准直后的第一光束或经所述半波片改变偏振状态后的第二光束中的快、慢轴光束平行进入所述第一光束变换系统或第二光束变换系统内,经第一光束变换系统或第二光束变换系统内的第一光束反射镜将快、慢轴光束进行第一次向下反射,以使一次反射后的快、慢轴光束的方向与初始光束在竖直方向呈90°;经所述第一光束反射镜反射后的快、慢轴光束经过第二光束反射镜进行第二次反射,以使二次反射后的快、慢轴光束的方向与初始光束平行;经所述第二光束反射镜反射后的快、慢轴光束经过光束压缩反射镜进行第三次反射,以使三次反射后的快、慢轴光束的方向与平行于所述散热板铺设方向。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京工业大学 一种高亮度半导体激光模块

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