申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117467982B

主分类号：C23C16/505

分类号：C23C16/505;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明提供一种半导体工艺设备，包括：工艺腔室，多个连接组，分别与多个载片舟一一对应地设置，每个连接组包括连接结构，连接结构被设置为与对应的载片舟中的各舟片电性连接，且使各相邻的两个舟片的极性相反；各相邻两个连接组的连接结构在相邻两个载片舟之间电连接；靠近第二炉门的连接组在相对于第二炉门的一侧设置有第一电极连接端和第二电极连接端。本方案可以解决相关技术中射频引入结构复杂，容易出现接触异常，且在维护更换时需机台降温停机，导致维护困难，产能降低的问题。

主权项：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：工艺腔室，所述工艺腔室在第一方向上相对设置有第一炉门和第二炉门，所述第一炉门被设置为能够开启或关闭，且所述工艺腔室中设置有承载装置，所述承载装置用于承载多个载片舟，且多个所述载片舟沿所述第一方向间隔设置，每个所述载片舟均包括间隔设置的多个舟片；多个连接组，与多个所述载片舟一一对应地设置，且每个所述连接组包括连接结构，所述连接结构被设置为与对应的所述载片舟中的各所述舟片电连接，且使各相邻的两个所述舟片的极性相反；并且，各相邻两个所述连接组的所述连接结构在相邻两个所述载片舟之间电连接；靠近所述第二炉门的所述连接组的所述连接结构在相对于所述第二炉门的一侧设置有第一电极连接端和第二电极连接端；第一电极引入组件和第二电极引入组件，贯通设置于所述第二炉门，并分别与所述第一电极连接端和第二电极连接端电连接，用以将射频电压通过对应所述连接组的所述连接结构加载至所述载片舟中的各所述舟片；每个所述载片舟中的所述舟片均沿舟片间隔排布的方向划分为多个舟片组，两个所述载片舟对应的所述舟片组的数量相同，且一一对应；每个所述连接组中的所述连接结构为多个，各所述连接结构被设置为一一对应地与各所述舟片组中的多个舟片电性连接，且使各相邻的两个所述舟片的极性相反；对于靠近所述第二炉门的所述连接组中的多个所述连接结构均设置有所述第一电极连接端和所述第二电极连接端；各相邻两个所述连接组中的各个所述连接结构在相邻两个所述载片舟之间一一对应地电连接；所述第一电极引入组件的数量与所述第一电极连接端的数量相同，且一一对应地电连接；所述第二电极引入组件的数量与所述第二电极连接端的数量相同，且一一对应地电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备

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