申请/专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司

申请日：2023-11-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117248195B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C16/503;C23C16/52;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.01.05#实质审查的生效;2023.12.19#公开

摘要：本申请公开了一种CVD晶圆水平调节机构，包括调整组件和检测组件，调整组件包括定位板、调节块、连接块和限位机构，限位机构用于限制调节块与定位板的水平相对位置，调节块直线延伸，连接块上设有限位槽，限位槽直线延伸、用于卡设调节块；定位板安装到位后，通过限位机构将调节块水平安装到定位板上，确保调节块处于水平状态，通过限位槽卡接连接块与调节块后，连接块亦具备水平状态，连接块能够使得载台具备预设的水平状态；检测组件包括水平板、检测板和高度计，检测板上设有一个圆心孔和一组圆周孔，高度计的检测端能够通过圆心孔或者圆周孔接触水平板、或者接触载台；通过设置检测组件，能够方便地确认载台是否处于预设的水平状态。

主权项：1.一种CVD晶圆水平调节机构，用于调节载台（210）的水平度，其特征在于，包括调整组件和检测组件；所述调整组件包括：定位板（710）；调节块（720），与所述定位板（710）相连，所述调节块（720）为矩形块，所述调节块（720）直线延伸；连接块（730），与所述载台（210）相连，所述连接块（730）上设有限位槽（731），所述限位槽（731）直线延伸、用于卡设所述调节块（720）；限位机构，用于限制所述调节块（720）与所述定位板（710）的水平相对位置；所述检测组件包括：水平板（741），用作水平基准；检测板（742），与所述水平板（741）可拆卸地连接，所述检测板（742）上设有一个圆心孔（742a）和一组圆周孔（742b），一组包括至少四个所述圆周孔（742b），一组中的至少四个所述圆周孔（742b）环绕所述圆心孔（742a）等间隔设置；至少五个高度计，所述圆心孔（742a）和所述圆周孔（742b）用于安装所述高度计，所述高度计的检测端能够通过所述圆心孔（742a）或者所述圆周孔（742b）接触所述水平板（741）、或者接触所述载台（210）；调试过程中，在所述圆心孔（742a）和一组所述圆周孔（742b）中装入所述高度计，使得所述检测板（742）与所述水平板（741）相连，将全部的所述高度计调整至接触所述水平板（741）；完成所述高度计的调整后，将所述检测板（742）安装到所述载台（210）上方，通过所述调整组件调整所述载台（210）的水平度、直至所述载台（210）与全部的所述高度计接触。

全文数据：

权利要求：

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