申请/专利权人:TCL华星光电技术有限公司
申请日:2021-11-30
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN114156374B
主分类号:H01L33/00
分类号:H01L33/00;H01L21/683
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权;2022.03.25#实质审查的生效;2022.03.08#公开
摘要:本申请提供一种芯片转移装置以及芯片转移方法,该芯片转移装置包括依次层叠设置的基板、磁性件以及牺牲件,其中:磁性件能够对LED芯片产生吸力,以使LED芯片吸附于牺牲件上,牺牲件能够产生气体并使气体冲击LED芯片,以使LED芯片从牺牲件上脱落。该芯片转移装置能够有效地提高LED芯片的转移良率。
主权项:1.一种芯片转移装置,其特征在于,包括第一芯片转移装置以及第二芯片转移装置,所述第一芯片转移装置包括依次层叠设置的基板、磁性件以及牺牲件,其中:所述磁性件能够对LED芯片产生吸力,以使所述LED芯片吸附于所述牺牲件上,所述牺牲件能够产生气体并使所述气体冲击所述LED芯片,以使所述LED芯片从所述牺牲件上脱落;所述第二芯片转移装置承载自所述第一芯片转移装置上脱落的LED芯片,所述第二芯片转移装置包括第二基板以及胶层,所述胶层远离所述第二基板的一侧用于承载LED芯片,所述胶层设置为激光解黏胶,以使得在外部激光照射下,激光解黏胶分解,以使LED芯片脱落。
全文数据:
权利要求:
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