申请/专利权人：常州时创能源股份有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774394U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片用大批量输送装置，属于硅片输送技术领域，包括加热腔体，加热腔体下方沿宽度方向并排设有多个板链式输送机，每个板链式输送机的链条上并排设有多个托架，加热腔体底面沿宽度方向并排设有多个通槽，多个托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆，多个支撑杆顶端外侧插接连接有支撑帽，每个板链式输送机上设有用于压紧链条的防抖组件，通过并排设置的多个板链式输送机带动托架与支撑帽同步移动来大批量运载硅片，硅片运载方式简单经济，硅片与支撑帽之间不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，板链式输送机设置在加热腔体外侧，因此不会因加热腔体内部高温而产生变形，使得硅片在运载过程中平稳可靠。

主权项：1.一种硅片用大批量输送装置，包括加热腔体8，其特征在于，所述加热腔体8下方沿宽度方向并排设有多个板链式输送机1，每个所述板链式输送机1的链条上并排设有多个托架2，所述加热腔体8底面沿宽度方向并排设有多个通槽9，多个所述托架2顶端穿过通槽9延伸至加热腔体8内部，每个所述托架2的顶端并排设有多个支撑杆3，多个所述支撑杆3顶端外侧插接连接有支撑帽5，每个所述板链式输送机1上设有用于压紧链条的防抖组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州时创能源股份有限公司 一种硅片用大批量输送装置

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