申请/专利权人：无锡市佰林德机械设备有限公司

申请日：2020-01-10

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN210925974U

主分类号：H01L21/677(20060101)

分类号：H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2021.12.24#未缴年费专利权终止;2020.07.03#授权

摘要：本实用新型提供一种晶圆转置装置，包括底板，所述底板上安装有第一转置盒，第一转置盒内放置有待转置的晶圆，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板的底部安装有滑动组件，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把，推把上安装有活动挡板，活动挡板的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。通过本实用新型，以解决现有技术存在的传统的晶圆转移装置晶圆转移的准确性差，容易推偏的问题。

主权项：1.一种晶圆转置装置，其特征在于，包括底板1，所述底板1上安装有第一转置盒2，第一转置盒2内放置有待转置的晶圆3，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒8，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板1的底部安装有滑动组件6，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把4，推把上安装有活动挡板5，活动挡板5的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡市佰林德机械设备有限公司 一种晶圆转置装置

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