申请/专利权人：清华大学

申请日：2020-07-23

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111811652A

主分类号：G01J3/433(20060101)

分类号：G01J3/433(20060101);G01J3/02(20060101);G01N21/25(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明实施例提供一种基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片、光谱仪及制备方法，所述光谱芯片通过在晶圆级别的图像传感器感光区域制备包含亚波长高对比度光栅结构的光调制层，使光调制层能对待测光进行调制，并将待测光的频谱信息编码到晶圆级别的图像传感器不同像素上，得到包含待测光的频谱信息图像。本发明实施例通过在晶圆级别的图像传感器上制备亚波长高对比度光栅，对光的调制能力更强，并将待测光的频谱信息编码到晶圆级别的图像传感器上，使光谱检测不再依赖精密移动的分光部件，不但使光谱检测设备体积和成本降低，也不再需要进行光学部件对准，降低后期维护成本，在晶圆级别的图像传感器上实现单片集成，缩小尺寸，大幅提高器件成品率。

主权项：1.一种基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片，其特征在于，包括：晶圆级别的图像传感器；所述晶圆级别的图像传感器的感光区域的上表面制备有包含亚波长高对比度光栅结构的光调制层，所述光调制层对不同波长的入射光的调制作用不同；其中，高对比度光栅结构是指光栅齿的折射率和周围包围它的介质的折射率的比值区间为1.5～6；亚波长是指结构尺寸与入射光波长比值区间为0.05～5；所述光调制层中的光栅结构用于对入射至所述光调制层的待测光进行调制，将所述待测光的频谱信息编码到晶圆级别的图像传感器的不同像素上，得到包含所述待测光的频谱信息的图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片、光谱仪及制备方法

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