申请/专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113130371A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.10.15#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置，晶圆支撑装置包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触，保证晶圆的可靠支撑，设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物，实现晶圆表面的清洗。

主权项：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学;华海清科股份有限公司 一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置

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