申请/专利权人：南京国兆光电科技有限公司

申请日：2022-09-02

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115572943A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23F1/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要：本发明公开了一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法，其中，所述的有机蒸镀掩膜版包括掩膜版本体，本体上设置有不同尺寸的开口，在开口区设置半蚀刻区域，本发明通过在其中半蚀刻区域表面上设置有环绕各个开口的支撑柱装置，支撑柱通过增加支撑接触限制开口沉积过程中半蚀刻区域掩膜版受磁力变化导致的形变，改善因磁力形变引起的颗粒污染问题，改善可靠性效果。

主权项：1.一种有机蒸镀用掩膜版，包括本体，所述本体上设置有多个半蚀刻蒸镀开口，其特征在于，所述本体的半蚀刻开口区域上设有多个环绕开口的支撑柱装置，所述支撑柱装置通过限制蒸镀对位贴合过程中的磁力变化导致的掩膜版半蚀刻区域形变。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京国兆光电科技有限公司 一种有机蒸镀掩膜版及其制作方法

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