申请/专利权人：深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115572944A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2023.01.24#发明专利申请公布后的撤回;2023.01.06#公开

摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个放置孔，所述放置孔的内壁固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁放置有基片板，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述套筒的外壁固定套设有环板，所述环板外设有环圈，所述环板和环圈相对一侧的侧壁固定连接有多个挡板。本发明可能够在不需要多次调节紧固螺栓的情况下，即可控制定位珠插入定位槽，操作更加简单便捷，提高了工作的便利性和能够在放置好基片板后，对基片板进行固定，避免了基片板在移动过程中会晃动，提高了基片板放置的稳定性。

主权项：1.一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴1，其特征在于，所述转轴1的外壁通过轴承转动连接有转筒2，所述转筒2的外壁固定套设有基片架3，所述基片架3的表面开设有多个放置孔4，所述放置孔4的内壁固定连接有两个支撑板5，两个所述支撑板5的上侧壁放置有基片板6，所述转轴1的下端杆壁套设有套筒7，所述套筒7的外壁固定套设有环板8，所述环板8外设有环圈9，所述环板8和环圈9相对一侧的侧壁固定连接有多个挡板10，所述套筒7通过限位机构固定在转轴1外，所述转筒2的上侧壁开设有多个竖孔11，多个所述竖孔11内均插接有竖杆12，所述竖杆12的下端固定连接有第一弹簧13，所述第一弹簧13的下端固定连接有连接座14，所述连接座14的下侧壁固定连接有定位珠15，所述环板8的上侧壁开设有与定位珠15相互匹配的定位槽16，多根所述竖杆12的上端固定连接有同一个连接圈17，所述转筒2的右侧壁通过调节机构对连接圈17进行固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司 一种真空镀膜用旋转掩膜装置

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