申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN117552105A

主分类号：C30B25/16

分类号：C30B25/16;C30B25/12;C30B25/10;C30B25/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明实施例公开了一种用于调准外延处理中的两个圆形件的装置、方法及外延设备，该装置包括：测量单元，用于测量第一圆形件的周缘与第二圆形件的周缘之间分别在第一圆形件的三个径向上的三个间距；获取单元，用于根据三个间距以及第一圆形件的半径和三个径向相应的三个角度获取第二圆形件的周缘中分别与三个径向相交的三个点的坐标；确定单元，用于根据所述三个点的坐标确定第二圆形件的圆心的实际坐标；计算单元，根据实际坐标以及当第二圆形件相对于第一圆形件处于基准位置时第二圆形件的圆心的基准坐标计算第二圆形件相对于第一圆形件的偏移向量；驱动单元，用于根据偏移向量使第二圆形件移动以使第二圆形件相对于第一圆形件处于基准位置。

主权项：1.一种用于调准外延处理中的两个圆形件的装置，其特征在于，所述装置包括：测量单元，所述测量单元用于测量第一圆形件的周缘与第二圆形件的周缘之间分别在所述第一圆形件的第一径向、第二径向和第三径向上的第一间距、第二间距和第三间距；获取单元，所述获取单元用于根据所述第一间距、所述第二间距、所述第三间距以及所述第一圆形件的半径和所述第一径向的第一角度、所述第二径向的第二角度、所述第三径向的第三角度获取所述第二圆形件的周缘中分别与所述第一径向、所述第二径向、所述第三径向相交的三个点的坐标；确定单元，所述确定单元用于根据所述三个点的坐标确定所述第二圆形件的圆心的实际坐标；计算单元，所述计算单元用于根据所述实际坐标以及当所述第二圆形件相对于所述第一圆形件处于基准位置时所述第二圆形件的圆心的基准坐标计算所述第二圆形件相对于所述第一圆形件的偏移向量；驱动单元，所述驱动单元用于根据所述偏移向量使所述第二圆形件移动以使第二圆形件相对于所述第一圆形件处于所述基准位置。

全文数据：

权利要求：

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