申请/专利权人：赛卓电子科技(上海)股份有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117706117A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125;G01P15/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明公开一种比例读出电路及MEMS电容型加速度计。比例读出电路包括第一电压端、第二电压端、传感模块、共模电压转换模块及差模电压转换模块。传感模块的公共极板交替连接第一电压端或共模电压转换模块；共模电压转换模块连接传感模块的定极板组和第一、第二电压端；差模电压转换模块连接定极板组及第一电压端。本发明通过传感模块、共模电压转换模块和差模电压转换模块共同形成全差分共模电荷控制比例读出结构，以实现传递函数线性化，较于采用多个传感模块的传统方案，本发明仅需单个传感模块即可实现全差分架构，有效降低成本；同时在两种不同时钟阶段使参考电压和反馈电压交替激励公共极板，以减少静电力调制，从而提高比例读出电路的线性度。

主权项：1.一种比例读出电路，其特征在于，包括：用于提供参考电压的第一电压端和用于提供激励电压的第二电压端；传感模块和共模电压转换模块，其中所述传感模块包括公共极板和定极板组；所述公共极板交替连接所述第一电压端或所述共模电压转换模块的输出端；所述共模电压转换模块包括第一输入端和第二输入端；所述第一输入端连接所述定极板组，且交替连接所述第一电压端或所述第二电压端；所述第二输入端连接所述第一电压端；在第一时钟阶段，基于所述共模电压转换模块接入所述参考电压，通过所述传感模块根据所述参考电压将外部加速度信号转换为初步传感电容信号；及在第二时钟阶段，通过所述共模电压转换模块根据所述激励电压，获取所述初步传感电容信号中的共模电压，且产生反馈电压输出，进而使所述传感模块在所述参考电压和所述反馈电压的交替激励下，根据所述共模电压将外部加速度信号转换为最终传感电容信号；差模电压转换模块，连接所述定极板组及所述第一电压端，在所述第一时钟阶段和所述第二时钟阶段的交替下，并基于所述参考电压，用于对所述初步传感电容信号和所述最终传感电容信号交替进行差分转换，以生成与外部加速度信号成比例的差模输出电压。

全文数据：

权利要求：

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