申请/专利权人：奈米科学仪器设备(上海)有限公司

申请日：2023-08-21

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220603845U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B21/06;G02B21/02;G01B11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型公开了一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置，包括显微成像单元，用于将待检测芯片反射成像得到图像，并获取调节指令进行光线调节直至获取到高精度测量图像；计算机控制单元，用于获取图像分析明暗信息，计算误差后进行输出或上传调节指令；所述显微成像单元包括激光驱动器、会聚透镜、可调光阑、准直物镜、聚焦物镜、分光棱镜一、分光棱镜二、显微物镜、管镜和图像传感器。本实用新型装置结构简单，容易集成，通过空间光调制器对光线的强度、照射角度进行动态调制，解决了现有芯片套刻测量方法中照明光线不均、角度有限导致的芯片套刻检测图像质量较差、检测精度低的技术问题。

主权项：1.一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置，其特征在于，包括:显微成像单元1，用于将待检测芯片反射成像得到图像，并获取调节指令进行光线调节直至获取到高精度测量图像；计算机控制单元2，用于获取图像分析明暗信息，计算误差后进行输出或上传调节指令；所述显微成像单元包括激光驱动器1-1、会聚透镜1-2、可调光阑1-3、准直物镜1-4、聚焦物镜1-5、分光棱镜一1-6、分光棱镜二1-7、显微物镜1-8、管镜1-9和图像传感器1-10，所述会聚透镜1-2、可调光阑1-3、准直物镜1-4依次同轴设置，且可调光阑1-3分别对应会聚透镜的像方焦面以及准直物镜的物方焦面，所述显微物镜1-8、管镜1-9依次同轴设置，所述分光棱镜一1-6位于准直物镜1-4远离可调光阑的一侧，所述分光棱镜二1-7位于显微物镜与管镜之间，且分光棱镜一1-6、分光棱镜二1-7相对应且平行设置，所述聚焦物镜1-5设置在分光棱镜一1-6、分光棱镜二1-7之间，所述图像传感器1-10位于管镜远离分光棱镜二的一侧，所述激光驱动器1-1用于产生白光光源，该白光光源依次通过会聚透镜1-2、可调光阑1-3、准直物镜1-4、分光棱镜一1-6形成平行光线；所述显微成像单元还包括空间光调制器1-11，所述空间光调制器1-11位于分光棱镜一1-6远离聚焦物镜的一侧，通过空间光调制器1-11获取调节指令并对平行光线进行调节后，该平行光线依次经过聚焦物镜、分光棱镜二、显微物镜最终聚到待检测芯片上并成像在图像传感器上。

全文数据：

权利要求：

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