申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117728786A

主分类号：H03H9/15

分类号：H03H9/15;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/205

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明提供一种MEMS谐振器，包括谐振体、电极及耦合梁，谐振体通过位于一端的耦合梁固定连接以使谐振体悬空于MEMS谐振器的基衬底之上，谐振体包括正对所述电极设置的工作面；电极包括驱动电极和感测电极，驱动电极和感测电极分别以一间隙宽度设置于谐振体的两侧以在驱动信号被施加到所述驱动电极时驱动谐振体在驱动电极与感测电极之间振动，并且谐振体的振动方向与谐振体的工作面的垂线方向大致呈一角度。本发明通过将谐振体和电极整体设计成非平行板状极板，替代现有的音叉式谐振器中平板状电容极板，在不明显增加加工难度和加工误差的前提下，提升频率稳定度。

主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括谐振体、电极及耦合梁，所述谐振体通过位于一端的耦合梁固定连接以使所述谐振体悬空于MEMS谐振器的基衬底之上，所述谐振体包括正对所述电极设置的工作面；所述电极包括驱动电极和感测电极，所述驱动电极和所述感测电极分别以一间隙宽度设置于谐振体的两侧以在驱动信号被施加到所述驱动电极时驱动所述谐振体在所述驱动电极与所述感测电极之间振动，并且所述谐振体的振动方向与所述谐振体的工作面的垂线方向大致呈一角度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器及MEMS谐振阵列

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD