申请/专利权人：南京宏泰晶智能装备科技有限公司

申请日：2021-11-11

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114043379B

主分类号：B23P23/02

分类号：B23P23/02;B24B37/04;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B28D5/00;B28D5/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.03.04#实质审查的生效;2022.02.15#公开

摘要：本发明公开一种全自动智能化半导体衬底片加工设备，包括底座，所述底座上设置有旋转驱动组件，所述旋转驱动组件的输出端设置有旋转环体，所述旋转环体表面围绕所述旋转环体圆心圆周均布有多个碳化硅衬底片安装座，其中一个所述碳化硅衬底片安装座上方设置有和所述底座固定连接的碳化硅衬底块储存桶，所述碳化硅衬底块储存桶一侧设置有能对所述碳化硅衬底块储存桶内的碳化硅衬底块进行底部等厚度切削的往复移动切削组件，降低了碳化硅衬底块切削成碳化硅衬底片后研磨之间的工序加工时间，并且自动送入至研磨装置内进行表面研磨处理，节省了加工时间，整体机械结构设置连贯，提高了工作效率。

主权项：1.一种全自动智能化半导体衬底片加工设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上设置有旋转驱动组件（2），所述旋转驱动组件（2）的输出端设置有旋转环体（3），所述旋转环体（3）表面围绕所述旋转环体（3）圆心圆周均布有多个碳化硅衬底片安装座（4），其中一个所述碳化硅衬底片安装座（4）上方设置有和所述底座（1）固定连接的碳化硅衬底块储存桶（5），所述碳化硅衬底块储存桶（5）一侧设置有能对所述碳化硅衬底块储存桶（5）内的碳化硅衬底块进行底部等厚度切削的往复移动切削组件（6），所述往复移动切削组件（6）上设置有能将切削后的硅晶圆送至其中一个所述碳化硅衬底片安装座（4）内放置的进给推送组件（7），所述碳化硅衬底块储存桶（5）相对于所述旋转环体（3）中心的另一侧设置有卸料斜板（8），所述碳化硅衬底块储存桶（5）和所述卸料斜板（8）之间的多个所述碳化硅衬底片安装座（4）上方设置有碳化硅衬底片表面研磨装置（11），所述底座（1）上设置有用于将其中一个所述碳化硅衬底片安装座（4）内的碳化硅衬底片顶出至所述卸料斜板（8）上方的自动检测上顶推送组件（9），所述旋转环体（3）和所述往复移动切削组件（6）之间设置有在所述旋转环体（3）旋转过程中间歇驱动所述往复移动切削组件（6）做往复运动的间歇往复联动机构（10）；所述碳化硅衬底块储存桶（5）底部设置有用于托起碳化硅衬底块下端的支撑板（100），所述碳化硅衬底块储存桶（5）靠近所述旋转环体（3）一侧底部设置有侧开口（200）；所述往复移动切削组件（6）包括和所述支撑板（100）固定连接的转轴座（601），所述转轴座（601）上转动设置有转轴体（602），所述转轴体（602）上端设置有旋转盘（603），所述旋转盘（603）上端面设置有偏心铰接轴（604），所述支撑板（100）朝向所述侧开口（200）方向设置有滑轨（605），所述滑轨（605）内活动设置有能朝所述侧开口（200）内部进给切屑的金刚石切割刀（606），所述金刚石切割刀（606）上设置有铰接座（607），所述偏心铰接轴（604）和所述铰接座（607）之间铰接有连杆（608）；所述进给推送组件（7）包括设置于所述金刚石切割刀（606）下方的托板（701），所述托板（701）和所述金刚石切割刀（606）上下间隔设置，所述托板（701）和所述金刚石切割刀（606）远离所述侧开口（200）之间设置有连接板（702），在所述托板（701）和所述金刚石切割刀（606）之间设置有顶杆（703），所述顶杆（703）和所述支撑板（100）固定连接，所述顶杆（703）下方的所述支撑板（100）上设置有连通其中一个所述碳化硅衬底片安装座（4）的落料通孔（704）；所述自动检测上顶推送组件（9）包括设置于所述底座（1）上的推杆电机（905），所述推杆电机（905）输出端设置有顶出块（901），所述顶出块（901）表面设置有倾斜面（902），所述推杆电机（905）通讯连接有处理器（906），每个所述碳化硅衬底片安装座（4）内各设置有红外发射器（903），所述底座（1）内设置有能和多个所述红外发射器（903）相匹配接收信号的红外接收器（904），所述红外接收器（904）通讯连接于所述处理器（906）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京宏泰晶智能装备科技有限公司 一种全自动智能化半导体衬底片加工设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD