申请/专利权人：合肥维信诺科技有限公司

申请日：2020-09-30

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN112185985B

主分类号：H01L27/12

分类号：H01L27/12;H01L29/423;H01L21/3213;H01L21/84;H01L21/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明实施例属于显示设备技术领域，具体涉及一种阵列基板、阵列基板制作方法及掩膜版。本发明实施例旨在解决相关技术中金属膜上形成的槽口侧壁较为陡峭，在金属膜上形成其他膜层时，其他膜层容易在槽口侧壁处发生滑落的问题。本发明实施例的阵列基板、阵列基板制作方法及掩膜版，基底上设置有金属膜，在金属膜上形成第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽的底面相较于第二凹槽的底面更靠近基底，在平行于基底的平面上，第一凹槽的投影位于第二凹槽的投影的内部；进而降低了槽口侧壁的坡度，可以避免形成的后续膜层在第一槽口侧壁上发生滑落，后续膜层可以覆盖金属膜，提高了阵列基板的性能。

主权项：1.一种阵列基板，其特征在于，包括：基底、设置在所述基底上的金属膜，所述金属膜上设置有第一槽口，所述第一槽口包括位于中部的第一凹槽以及位于所述第一凹槽边缘且与所述第一凹槽连通的第二凹槽，所述第一凹槽的底面相较于所述第二凹槽的底面更靠近所述基底，在平行于所述基底的平面上，所述第一凹槽的投影位于所述第二凹槽的投影的内部；所述第二凹槽用于避免位于所述第一槽口的侧壁上的膜层滑落；所述阵列基板具有显示区以及环绕所述显示区的非显示区，所述金属膜上还设置有第二槽口，所述第二槽口设置在所述显示区内，所述第二槽口将所述金属膜分割成栅极，所述第一槽口设置在所述非显示区内，所述第一槽口将所述金属膜分割成导线，所述第二槽口的侧壁坡度大于所述第一槽口侧壁的坡度；或者，所述阵列基板具有显示区以及环绕所述显示区的非显示区，所述第一槽口为多个，所述显示区和所述非显示区内均设置有多个所述第一槽口，所述显示区内所述第一槽口将所述金属膜分割成驱动薄膜晶体管的栅极，所述非显示区内的所述第一槽口将所述金属膜分割成导线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥维信诺科技有限公司 阵列基板、阵列基板制作方法及掩膜版

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