申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司

申请日：2023-08-10

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627824U

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种半片硅片加工传输线，包括并排设置的上料传输线、下料传输线、激光加工旋转平台以及转运机构，上料传输线、下料传输线均包括多条输送线，转运机构包括真空吸盘、支架和旋转驱动组件，旋转驱动组件用于驱动支架转动，支架上设置有两块安装板，当其中一块安装板位于激光加工旋转平台的待加工工位时，另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方，每块安装板的底部均固定安装有多个真空吸盘，多个真空吸盘呈矩形阵列设置，且相邻两排真空吸盘位于相邻两排输送线的出料端的正上方。本实用新型通过上料传输线、下料传输线及转运机构的设置，能够同时进行多张半片硅片的上下料，提高了生产效率。

主权项：1.一种半片硅片加工传输线，包括并排设置的上料传输线、下料传输线、激光加工旋转平台以及转运机构，其特征在于：所述上料传输线、下料传输线均包括多条输送线，所述转运机构包括真空吸盘、支架和旋转驱动组件，所述旋转驱动组件用于驱动支架转动，所述支架上设置有两块安装板，当其中一块安装板位于激光加工旋转平台的待加工工位时，另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方，每块所述安装板的底部均固定安装有多个真空吸盘，多个真空吸盘呈矩形阵列设置，且相邻两排真空吸盘位于相邻两排输送线的出料端的正上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 一种半片硅片加工传输线

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD