申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117749124A

主分类号：H03H9/24

分类号：H03H9/24;H03H9/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请公开了一种MEMS谐振器，包括振臂以及电极组，振臂与电极组之间设有均匀间隙的第一锯齿部以及第二锯齿部，第一锯齿部包括与振臂连接的第一齿，第二锯齿部包括与电极组连接的第二齿，第一齿与第二齿沿第一轴线方向交错排列，第一齿和第二齿均包括第一面、第二面以及第三面，第一面平行于第一轴线方向，第二面和或第三面与第三轴线方向具有夹角，静止的振臂平行于第一轴线，当电极组被施加信号后，振臂围绕与第一轴线方向垂直的第二轴线方向而相对于电极组摆动。本申请有效降低MEMS谐振器由于DC电压波动以及因外力变化导致静电负刚度的变化，降低MEMS谐振器对DC电压波动以及振臂与电极之间的距离敏感性。

主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：振臂以及电极组，所述振臂与所述电极组之间设有保持有均匀的间隙的第一锯齿部以及第二锯齿部，所述第一锯齿部包括与所述振臂连接的第一齿，所述第二锯齿部包括与所述电极组连接的第二齿，所述第一齿与所述第二齿沿第一轴线方向交错排列，所述第一齿和所述第二齿均包括第一面、第二面以及第三面，所述第一面平行于所述第一轴线方向，所述第二面和或所述第三面与第三轴线方向具有夹角，静止的所述振臂平行于所述第一轴线方向，当所述电极组被施加信号后，所述振臂围绕与所述第一轴线方向垂直的第二轴线方向而相对于所述电极组摆动，所述第一轴线方向、所述第二轴线方向和所述第三轴线方向相互垂直。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器

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