申请/专利权人：深圳晶源信息技术有限公司

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742069A

主分类号：G03F1/38

分类号：G03F1/38;G03F1/36

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及计算光刻技术领域，特别涉及一种辅助图形拆分组合方法、系统、掩模板、设备及存储介质。本发明的辅助图形拆分组合方法，利用掩模上的亚分辨率辅助图形对应的晶源光刻胶位置不形成图像的特点，并且可以通过光学邻近效应对主图形的成像起到增益作用；本方法根据放置区间对辅助图形规则进行拆分和重新组合，在保证灵活性、普适性的同时能够避免辅助图形清理的不稳定性。本发明解决了在光学邻近矫正中，对流片的不同辅助图形规则之间冲突的清理结果可能偏离工艺要求的技术问题。本发明的辅助图形拆分组合系统、掩模板、设备及存储介质具有与辅助图形拆分组合方法相同的有益效果。

主权项：1.一种辅助图形拆分组合方法，其特征在于，包括以下步骤：获取需要光刻的主图形以及与所述主图形对应的辅助图形，界定相邻主图形之间的辅助图形为目标图形，对所述目标图形按照预设方式模拟放置；获取所述目标图形在模拟放置时的第一参数和第二参数，所述第一参数和所述第二参数至少与所述主图形相关联；界定相邻主图形之间的中线为对称轴，判断所述对称轴两侧的目标图形中所述第一参数是否对应相同，若相同，按照单侧主图形的放置规则对所述目标图形所在的放置区间进行拆分，否则按照相邻主图形两侧的放置规则对所述放置区间进行拆分；在完成拆分后更新所述第一参数和所述第二参数，得到更新后的参数信息；根据拆分所使用的放置规则以及所述参数信息，在所述放置区间内对所述目标图形进行组合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳晶源信息技术有限公司 辅助图形拆分组合方法、系统、掩模板、设备及存储介质

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