申请/专利权人：菲特晶(南京)电子有限公司

申请日：2024-02-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737680A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种石英晶片镀膜的装置，属于真空镀膜技术领域，为了解决任一镀膜架上的部件直接卡死，导致整体镀膜设备停止运转的问题，发明包括泵箱和固定安装在泵箱底面上的若干支腿，真空镀膜箱体内腔中固定安装有驱动组件，驱动组件的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A，驱动组件的两侧分别固定安装有传动组件B，传动组件A输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件，传动组件A的输出末端均固定连接有警报组件，本发明当驱动组件其中一侧的晶片放置组件卡住时，会自行切断动力传输，并且不影响另一侧晶片放置组件正常运转，对另一侧晶片放置组件上的石英晶片进行正常的镀膜，同时，带动微型发电机运转，为警示灯供电。

主权项：1.一种石英晶片镀膜的装置，包括泵箱（1）和固定安装在泵箱（1）底面上的若干支腿（2），泵箱（1）的一侧设置有控制器（3），控制器（3）的底面上也设置有若干支腿（2），泵箱（1）的顶面上固定安装有真空镀膜箱体（4），其特征在于：所述真空镀膜箱体（4）内腔中固定安装有驱动组件（5），驱动组件（5）的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A（6），驱动组件（5）的两侧分别固定安装有传动组件B（7），且传动组件A（6）均贯穿转动设置在传动组件B（7）上，传动组件A（6）输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件（8）传动组件A（6）的输出末端均固定连接有警报组件（9）；所述传动组件A（6）包括连接轴（61）和设置在连接轴（61）一侧的传动轴（64），且连接轴（61）和传动轴（64）通过卡接轴（62）进行卡接，同时传动轴（64）卡接晶片放置组件（8）上，传动轴（64）的外周外壁上螺纹连接有动力衔接组件（63），动力衔接组件（63）的一端与卡接轴（62）相连接，传动轴（64）的输出末端固定连接有转轴（65），转轴（65）与警报组件（9）进行固定连接，且贯穿设置在晶片放置组件（8）上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 菲特晶(南京)电子有限公司 一种石英晶片镀膜的装置

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