申请/专利权人：无锡芯启博科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747530A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种晶圆CP测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述充压组件底部设置有与气动夹爪连通的气动控制组件；本发明具有晶圆夹取稳定且不会造成晶圆损坏的优点。

主权项：1.一种晶圆CP测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，其特征在于：所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述充压组件底部设置有与气动夹爪连通的气动控制组件，所述气动控制组件连通有位于充压组件上的稳压组件，所述稳压组件连通充压组件，所述稳压组件能够基于气动夹爪所需气压为气动夹爪自动补压；所述探针测试模块、放料晶舟盒以及储料晶舟盒以旋转柱为中心呈圆形阵列。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡芯启博科技有限公司 一种晶圆CP测试装置

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