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【发明公布】一种具有高亮度红黄光mini外延片及其制备方法_山东华光光电子股份有限公司_202211199884.9 

申请/专利权人:山东华光光电子股份有限公司

申请日:2022-09-29

公开(公告)日:2024-03-29

公开(公告)号:CN117790655A

主分类号:H01L33/14

分类号:H01L33/14;H01L33/30;H01L33/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要:本发明涉及光电子技术领域,且公开了一种具有高亮度红黄光mini外延片,包括GaAs衬底、GaAs‑buffer层、腐蚀截至层、N侧欧姆接触层、电流扩展层、AlInP限制层、MQW发光层、AlInP限制层和GaP层,所述AlInP限制层的顶部设有GaP接触层,所述GaP接触层的顶部设有GaP电流横向扩展层,所述GaP电流横向扩展层的顶部设有高速GaP层。该具有高亮度红黄光mini外延片及其制备方法,通过在AlGaInP过渡层上生长三层GaP:GaP接触层、高低掺间隔GaP层和高速GaP层,高低掺间隔GaP的掺杂量差1E18,使电流在高掺层尽可能走的更远,从而实现更加充分的电流扩展,提高发光亮度、提升亮度均匀性、改善老化,且可以减薄GaP的生长厚度,降低成本。

主权项:1.一种具有高亮度红黄光mini外延片,包括GaAs衬底L11、GaAs-buffer层L10、腐蚀截至层L09、N侧欧姆接触层L08、电流扩展层L07、AlInP限制层L06、MQW发光层L05和AlInP限制层L04,所述GaAs衬底L11的顶部连接有GaAs-buffer层L10,所述GaAs-buffer层L10的顶部连接有腐蚀截至层L09,所述腐蚀截至层L09的顶部连接有N侧欧姆接触层L08,所述N侧欧姆接触层L08的顶部设有电流扩展层L07,所述电流扩展层L07的顶部设有AlInP限制层L06,所述AlInP限制层L06的顶部设有MQW发光层L05,所述MQW发光层L05的顶部设有AlInP限制层L04,其特征在于:所述AlInP限制层L04的顶部设有GaP接触层L03,所述GaP接触层L03的顶部设有GaP电流横向扩展层L02,所述GaP电流横向扩展层L02的顶部设有高速GaP层L01,所述GaP电流横向扩展层L02由高掺层和低掺层组成,且所述GaP电流横向扩展层L02的顶端和底端均为高掺层,两个高掺层的内侧为低掺层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 山东华光光电子股份有限公司 一种具有高亮度红黄光mini外延片及其制备方法

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