申请/专利权人：江苏国汇合瑞半导体材料有限公司

申请日：2023-06-13

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220691981U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型属于硅片清洗设备领域，公开了一种硅片花篮，包括两个对称设置的花篮挡板，其特征在于：所述花篮挡板为“山”字形，两个所述花篮挡板的中部设置有等距离竖直排列的双面花篮齿杆，每个所述双面花篮齿杆的两侧均设置有与其对应的单面花篮齿杆，每个所述双面花篮齿杆、单面花篮齿杆的两端分别通过螺栓与两个花篮挡板固定连接。本方案通过“山”字形的花篮挡板、双面花篮齿杆和两组单面花篮齿杆的相互配合，可以同时清洗两组硅片增加硅片清洗的数量，提高硅片清洗的效率，减少清洗时间。

主权项：1.一种硅片花篮，包括两个对称设置的花篮挡板（1），其特征在于：所述花篮挡板（1）为“山”字形，两个所述花篮挡板（1）的中部设置有等距离竖直排列的双面花篮齿杆（2），每个所述双面花篮齿杆（2）的两侧均设置有与其对应的单面花篮齿杆（3），每个所述双面花篮齿杆（2）、单面花篮齿杆（3）的两端分别通过螺栓与两个花篮挡板（1）固定连接；所述双面花篮齿杆（2）和单面花篮齿杆（3）均包括螺纹杆（21）、防护套（22）和硅片齿（23），所述防护套（22）套设在螺纹杆（21）表面，所述硅片齿（23）呈线性阵列在防护套（22）表面，所述双面花篮齿杆（2）上设置有两列硅片齿（23），所述防护套（22）、硅片齿（23）一体注塑在螺纹杆（21）的表面；所述硅片齿（23）为三角菱形齿；所述花篮挡板（1）上且对应单面花篮齿杆（3）处开设有条形孔（4），所述单面花篮齿杆（3）通过螺栓安装在条形孔（4）处，所述花篮挡板（1）两侧的单面花篮齿杆（3）之间的距离为182-210mm。

全文数据：

权利要求：

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