申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220691978U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/68;B08B1/12;B08B1/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆洗刷件定位装置和半导体工艺设备。所述晶圆洗刷件定位装置包括光源、探测器、位置调节装置和处理器，所述处理器分别与所述探测器和刷子机械臂电连接，所述光源和所述探测器滑动设置于所述位置调节装置，所述光源用于通过所述位置调节装置调整到目标位置以发射光束，所述探测器用于通过所述位置调节装置调整到与所述光源相对的目标位置，并侦测所述光束以得到光束被晶圆洗刷件遮挡的信息，所述处理器用于根据所述光束被晶圆洗刷件遮挡的信息控制所述刷子机械臂移动，以定位晶圆洗刷件的位置。本实用新型避免了晶圆洗刷件定位装置对晶圆洗刷件造成污染和损伤，而且大大提升了测试效率和测试准确度。

主权项：1.一种晶圆洗刷件定位装置，其特征在于，包括光源、探测器、位置调节装置和处理器，所述处理器分别与所述探测器和刷子机械臂电连接，所述光源和所述探测器滑动设置于所述位置调节装置，所述光源用于通过所述位置调节装置调整到目标位置以发射光束，所述探测器用于通过所述位置调节装置调整到与所述光源相对的目标位置，并侦测所述光束以得到光束被晶圆洗刷件遮挡的信息，所述处理器用于根据所述光束被所述晶圆洗刷件遮挡的信息控制所述刷子机械臂移动，以定位所述晶圆洗刷件的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 晶圆洗刷件定位装置和半导体工艺设备

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