申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117802471A

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供一种基板架及镀膜装置，所述基板架用于装载基板，所述基板架包括：第一基板装载部，用于承载所述基板；第二基板装载部，间隔设置在所述第一基板装载部上方；第一连接部，用于连接所述第一基板装载部和所述第二基板装载部，所述第一连接部、所述第一基板装载部和所述第二基板装载部之间形成的空间用于容纳所述基板；第二连接部，设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧，用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室。本发明增强了基板架和基板的稳定性，提高了部件装配同心度。

主权项：1.一种基板架，用于装载基板，其特征在于，所述基板架包括：第一基板装载部，用于承载所述基板；第二基板装载部，间隔设置在所述第一基板装载部上方；第一连接部，用于连接所述第一基板装载部和所述第二基板装载部，所述第一连接部、所述第一基板装载部和所述第二基板装载部之间形成的空间用于容纳所述基板；第二连接部，设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧，用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室；其中，所述第一基板装载部包括第一开口和第一边缘，所述第一开口由所述第一边缘围设而成，所述第一开口用于暴露所述基板的待加工面，所述第一边缘设置有至少一个第一对接位，所述第一连接部靠近所述第一基板装载部的一端设置有至少一个第二对接位，所述第一连接部与所述第一基板装载部通过所述第一对接位和所述第二对接位的对接形成连接，所述第一基板装载部、所述第二基板装载部和所述第一连接部所构成的空间用于容纳所述基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 基板架及镀膜装置

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