申请/专利权人：奈米科学仪器设备(上海)有限公司

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805118A

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法，涉及芯片外观光学检测中的缺陷检测技术领域，包括精密调整台、显微成像系统、微运动模块、成像及图像采集模块、运动控制模块、同步时序触发生成模块和信息处理分析模块，所述成像及图像采集模块集成在微运动模块中，微运动模块安装在显微成像系统上；本发明装置结构通过较低放大倍率和较低配置的显微成像系统对芯片样品进行光学显微放大，配合图像采集模块的精确编码运动，对经过显微成像系统放大后的样品图像进行数据采集，并将采集到的图像结合编码信息进行关联计算，对图像进行插值和像素值重分配，通过计算成像的方式实现了高分辨的成像效果。

主权项：1.一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置，包括精密调整台1、显微成像系统2、微运动模块3、成像及图像采集模块4、运动控制模块5、同步时序触发生成模块6和信息处理分析模块7，其特征在于：所述成像及图像采集模块4集成在微运动模块3中，所述微运动模块3安装在显微成像系统2上，所述微运动模块3、成像及图像采集模块4和显微成像系统2同轴放置，所述运动控制模块5分别与同步时序触发生成模块6和信息处理分析模块7电连接，所述成像及图像采集模块4分别与同步时序触发生成模块6和信息处理分析模块7电连接，所述同步时序触发生成模块6与信息处理分析模块7电连接；所述微运动模块3用于提供高精度位移；所述成像及图像采集模块4用于单次图像的采集；所述运动控制模块5用于在指定周期内完成编码后的位移；所述同步时序触发生成模块6用于生成同步触发信号；所述信息处理分析模块7用于对数据的提取与分析。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奈米科学仪器设备(上海)有限公司 一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法

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