申请/专利权人：山东华美新材料科技股份有限公司

申请日：2024-03-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805102A

主分类号：G01N21/84

分类号：G01N21/84;H01L21/66;B25B11/00;G01N21/01

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了涉及晶舟检测技术领域的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置。为解决影像检测时，由于人工翻转晶舟时难以保证晶舟始终保持水平状态，导致晶舟的检测结果存在误差的技术问题。包括有底座，所述底座远离所述载物板的一侧滑动连接有伸缩件，所述伸缩件限位密封滑动连接有连接弯块，所述连接弯块转动连接有转动块，所述转动块滑动连接有从动块和主动块，所述从动块和所述主动块远离所述连接弯块的一侧均固接有支杆。本发明通过支杆对晶舟支撑后控制其转动，使晶舟在转动时始终保持水平状态，方便检测头对晶舟的放置槽进行检测，降低了影像检测的误差，同时通过翻转对晶舟的各个位置进行自动化检测，提高了检测效率。

主权项：1.一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，其特征在于：包括有底座（1），所述底座（1）固接有支架（2），所述底座（1）安装有控制终端，所述支架（2）远离所述底座（1）的一侧安装有检测头（3），所述底座（1）滑动连接有载物板（4），所述底座（1）远离所述载物板（4）的一侧滑动连接有伸缩件（5），所述伸缩件（5）限位密封滑动连接有连接弯块（6），所述连接弯块（6）远离所述底座（1）的一侧转动连接有转动块（7），所述转动块（7）滑动连接有从动块（8）和主动块（9），所述从动块（8）和所述主动块（9）远离所述连接弯块（6）的一侧均固接有支杆（10），所述连接弯块（6）安装有与控制终端电连接的检测电机（11），所述检测电机（11）的输出轴与所述转动块（7）之间通过齿轮组传动，所述载物板（4）设置有用于为晶舟定位且与控制终端电连接的定位机构，所述底座（1）设置有用于固定晶舟且镜像分布并与控制终端电连接的固定组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东华美新材料科技股份有限公司 一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置

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