申请/专利权人：苏州太阳井新能源有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220709541U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供一种曝光设备，包括：旋转工作平台，包括M个加工台，加工台对应设置有加工工位，加工工位至少依次包括上料工位、位置检测工位、曝光工位及下料工位，其中M≥6，且M为整数；上料机构用于将电池片输送至上料工位；下料机构用于将电池片从下料工位传出；上料机构、上料工位、下料工位及下料机构均沿水平第一方向依次排布。本实用新型设置多个加工工位，电池片同时传入与传出，实现了多片电池片同时进行曝光制备，多个加工工位的设置减小了每个节拍的时间，相比于现有技术中一个加工工位进行多步工序，节省了电池片的曝光总时间，提高了生产产能和生产效率；同时，全自动化生产减少了人力物力，进而降低了生产成本。

主权项：1.一种曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括：旋转工作平台，所述旋转工作平台包括M个加工台，沿所述旋转工作平台周向设置有M个加工工位，一个所述加工台对应一个所述加工工位，所述加工台用于将电池片旋转传输至各个所述加工工位上，所述加工工位至少依次包括上料工位、位置检测工位、曝光工位及下料工位，所述位置检测工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的位置检测装置，所述位置检测装置用于对处于所述位置检测工位的所述电池片进行位置检测处理，所述曝光工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的曝光装置，所述曝光装置用于对处于所述曝光工位的所述电池片进行曝光处理，其中M≥6，且M为整数；上料机构，所述上料机构用于将每个待曝光处理的所述电池片输送至所述上料工位；下料机构，所述下料机构用于将每个完成曝光处理的所述电池片从所述下料工位传出；所述上料机构、所述上料工位、所述下料工位及所述下料机构均沿水平第一方向依次排布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州太阳井新能源有限公司 一种曝光设备

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