申请/专利权人：比亚迪股份有限公司;比亚迪汽车工业有限公司

申请日：2022-09-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855025A

主分类号：H01L21/02

分类号：H01L21/02;C30B25/18;C30B25/20;C30B29/36;C30B33/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及碳化硅外延技术领域，公开了碳化硅外延片及其制备方法。该制备方法包括如下步骤：S1、提供碳化硅衬底，在外延生长所需条件下，将所述碳化硅衬底依次进行缓冲层生长和外延层生长，得到第一产物；S2、将所述第一产物依次用第一溶液、第二溶液和第三溶液进行浸泡清洗，然后用第四溶液进行清洗，得到碳化硅外延片。本发明通过将外延工艺和清洗工艺紧密结合，在外延炉及普通槽式清洗剂中即可完成，不需要增加其他外部设备即可得到具有较高少子寿命的外延片，提高了外延片的质量，同时节约了成本。

主权项：1.一种碳化硅外延片的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：S1、提供碳化硅衬底，在外延生长所需条件下，将所述碳化硅衬底依次进行缓冲层生长和外延层生长，得到第一产物；S2、将所述第一产物依次用第一溶液、第二溶液和第三溶液进行浸泡清洗，然后用第四溶液进行清洗，得到碳化硅外延片；其中，所述第一溶液中，硫酸的浓度为10％-98％，双氧水的浓度为10％-50％；所述第二溶液中，氨水的浓度为5-30％，双氧水的浓度为10％-50％；所述第三溶液中，盐酸的浓度为3％-40％，双氧水的浓度为10％-50％；所述第四溶液中，氢氟酸的浓度为1％-15％，硝酸的浓度为5％-70％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 比亚迪股份有限公司;比亚迪汽车工业有限公司 碳化硅外延片及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD