申请/专利权人：无锡昌鼎电子有限公司

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117524946B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66;B07C5/344;B07C5/36;B07C5/38;B07C5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本发明涉及芯片生产线技术领域，具体提供了一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台，机台上设置有直线模组；机台上还设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧；所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：摇盘供料机构、第一动子平台、检测机构、第二动子平台、摇盘收料机构；本发明通过第一夹爪机构将摇盘供料机构上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台上，经第一动子平台移料至检测机构上，经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台上，第二夹爪机构将第二动子平台上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构上，以便于后续加工使用。

主权项：1.一种双线式裸晶芯片测试分选机，包括机台，在所述机台上设置有直线模组；其特征在于：在所述机台上设置有第一分选线和第二分选线，第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧，用于同时分选不同规格的芯片；所述第一分选线和第二分选线为相同的结构，均包括：摇盘供料机构，用于堆叠储料；第一动子平台，用于未检测裸晶芯片的输送；检测机构，用于检测裸晶芯片IR值，以筛选不合格品；第二动子平台，用于检测后的合格裸晶芯片的输送；摇盘收料机构，用于合格裸晶芯片堆叠收料；所述直线模组包括第一直线模组和第二直线模组，所述第一直线模组和第二直线模组上均设置有支架，第一直线模组的支架两端分别装配有第一夹爪机构，单个所述第一夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的摇盘供料机构与第一动子平台之间，用于第一分选线和第二分选线同时上料；第二直线模组的支架两端分别装配有第二夹爪机构，单个所述第二夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的第二动子平台与摇盘收料机构之间，用于第一分选线和第二分选线同时下料；所述摇盘供料机构和摇盘收料机构为相同的机构，均包括：装配在机台的下端的第三直线模组，第三直线模组的活动端连接有顶板，顶板可活动的延伸至机台上端；顶板上堆叠有摇盘，裸晶芯片置于摇盘上；在所述机台的上端设置有围栏，围栏环设在顶板外侧以防护堆叠的摇盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡昌鼎电子有限公司 一种双线式裸晶芯片测试分选机

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