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【发明公布】一种近圆形光斑的单模半导体激光器件_山东华光光电子股份有限公司_202311708333.5 

申请/专利权人:山东华光光电子股份有限公司

申请日:2024-02-18

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117833024A

主分类号:H01S5/22

分类号:H01S5/22;H01S5/20

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明公开一种近圆形光斑的单模半导体激光器件,其由下至上依次包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、Alx1Ga1‑x1y1In1‑y1P下限制层A、Alx2Ga1‑x2y2In1‑y2P扩展波导层、Alx3Ga1‑x3y3In1‑y3P下限制层B、Alx4Ga1‑x4y4In1‑y4P下波导层、Gax5In1‑x5P第一量子阱、Alx6Ga1‑x6y5In1‑y5P第一垒层、Gax7In1‑x7P第二量子阱、Alx8Ga1‑x8y6In1‑y6P第二垒层、Gax9In1‑x9P第三量子阱、Alx10Ga1‑x10y7In1‑y7P上波导层、Alx11Ga1‑x11y8In1‑y8P上限制层A、Gax12In1‑x12P腐蚀终止层、Alx13In1‑x13P上限制层B、Alx14Ga1‑x14y9In1‑y9P带隙过渡层、GaAs帽层。本发明通过窄脊弱波导结构,实现近圆光斑,同时利用非对称结构、扩展波导结构,压缩光场向N侧偏移,降低吸收损耗,利用低折射率垒层,提高光场与量子阱的重合度,提高光电转换效率。

主权项:1.一种近圆形光斑的单模半导体激光器件,其特征在于,该激光器件由下至上依次包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、Alx1Ga1-x1y1In1-y1P下限制层A、Alx2Ga1-x2y2In1-y2P扩展波导层、Alx3Ga1-x3y3In1-y3P下限制层B、Alx4Ga1-x4y4In1-y4P下波导层、Gax5In1-x5P第一量子阱、Alx6Ga1-x6y5In1-y5P第一垒层、Gax7In1-x7P第二量子阱、Alx8Ga1-x8y6In1-y6P第二垒层、Gax9In1-x9P第三量子阱、Alx10Ga1-x10y7In1-y7P上波导层、Alx11Ga1-x11y8In1-y8P上限制层A、Gax12In1-x12P腐蚀终止层、Alx13In1-x13P上限制层B、Alx14Ga1-x14y9In1-y9P带隙过渡层、GaAs帽层;其中,0.55≤x1≤0.8,0.4≤y1≤0.6;0.45≤x2≤0.55,0.4≤y2≤0.6;0.55≤x3≤0.8,0.4≤y3≤0.6;0.45≤x4≤0.55,0.4≤y4≤0.6;0.35≤x5≤0.45;0.5≤x6≤0.6,0.4≤y5≤0.6;0.35≤x7≤0.45;0.5≤x8≤0.6,0.4≤y6≤0.6;0.35≤x9≤0.45;0.45≤x10≤0.55,0.4≤y7≤0.6;0.6≤x11≤0.85,0.4≤y8≤0.6;0.5≤x12≤0.65;0.45≤x13≤0.55;0.1≤x14≤0.9,0.4≤y9≤0.6;且所述Alx4Ga1-x4y4In1-y4P下波导层厚度小于Alx10Ga1-x10y7In1-y7P上波导层,所述x1、x3取值均小于x11,所述x2取值小于x1及x3,所述x6、x8取值均大于x4、x10;所述x14由0.9渐变至0.1。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 山东华光光电子股份有限公司 一种近圆形光斑的单模半导体激光器件

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