申请/专利权人：苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878000A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;B08B5/04;H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明的目的是要提供一种半导体波段检测装置，解决了半导体波段环保快速检测的问题，包括电机和转盘，转盘设置在电机的驱动端，转盘外缘设置有操作台，转盘底部设置有托盘，转盘上设置有入料槽，所述托盘上设置有落料槽，所述操作台上底部设置有移动机构，在保证气体清洁时，待检测半导体产品从入料槽，向人落料槽落到对应的电路板上，在电路板上实现对半导体产品波段的检测，然后吸附头吸附检测后的半导体产品复位，转盘旋转时，入料槽的壁体抵紧半导体产品，从而使半导体产品再次回到入料槽，因此解决了半导体波段环保快速检测的问题。

主权项：1.一种半导体波段检测装置，包括电机（1）和转盘（2），转盘（2）设置在电机（1）的驱动端，转盘（2）外缘设置有操作台（3），转盘（2）底部设置有托盘（4），转盘（2）上设置有入料槽（21），其特征在于，所述托盘（4）上设置有落料槽（41），所述操作台（3）底部设置有移动机构（5），所述移动机构（5）包括垫板（51），所述垫板（51）位于所述落料槽（41）底部，所述操作台（3）上设置有吸附机构（6），所述吸附机构（6）包括支板（61）、电机（62）和吸附头（63），所述电机（62）设置在所述支板（61）上，所述电机（62）的驱动端设置有丝杆（64），所述吸附头（63）活动设置在所述丝杆（64）上，所述落料槽（41）位于所述吸附头（63）的移动路径上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司 一种半导体波段检测装置

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