申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117438277B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;C23C16/455;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.02.09#实质审查的生效;2024.01.23#公开

摘要：本发明提供一种匀流组件、进气装置及半导体设备，匀流组件内部具有匀流腔，匀流腔的顶壁上设有沿自身厚度方向贯穿顶壁的多个进气口，匀流腔的底壁上设有沿自身厚度方向贯穿底壁的多个出气口；匀流腔内部设有与多个进气口一一对应设置的多个进气管，以及与多个出气口一一对应设置的多个出气管；进气管的一端与对应的进气口连接，进气管的另一端与匀流腔连通；出气管的一端与对应的出气口连接，出气管的另一端与匀流腔连通；进气管的另一端位于出气管的另一端的下方。采用本发明，工艺气体通过匀流组件的过程中会改变流动方向，以利于使各个出气口的气体喷出量相同，提升了工艺气体的分布均匀性，工艺均匀性和产品良率随之提高。

主权项：1.一种匀流组件，其特征在于，所述匀流组件内部具有匀流腔，所述匀流腔的顶壁上设有沿自身厚度方向贯穿所述顶壁的多个进气口，所述匀流腔的底壁上设有沿自身厚度方向贯穿所述底壁的多个出气口；所述匀流腔内部设有与所述多个进气口一一对应设置的多个进气管，以及与所述多个出气口一一对应设置的多个出气管；所述进气管的一端与对应的进气口连接，所述进气管的另一端与所述匀流腔连通；所述出气管的一端与对应的出气口连接，所述出气管的另一端与所述匀流腔连通；所述进气管的另一端位于所述出气管的另一端的下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 匀流组件、进气装置及半导体设备

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