申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2019-04-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111863655B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.11.17#实质审查的生效;2020.10.30#公开

摘要：本发明提供一种开盖机构及半导体加工设备，该开盖机构包括：导向件，竖直设置在上电极机构的一侧，且与腔室固定连接；第一定位结构，用于限制所述导向件与所述腔室的相对位置和旋转自由度；滑动件，与所述导向件滑动配合，且与所述上电极机构固定连接；第二定位结构，用于限制所述滑动件与所述上电极机构的相对位置和旋转自由度；驱动装置，用于驱动所述上电极机构和或所述滑动件相对于所述腔室作升降运动。

主权项：1.一种开盖机构，其特征在于，包括：导向件，竖直设置在上电极机构的一侧，且与腔室固定连接；第一定位结构，用于限制所述导向件与所述腔室的相对位置和旋转自由度；所述第一定位结构包括：第一定位孔以及第一定位销；在所述导向件上设置有第一配合部，所述第一配合部位于所述第一定位孔中，且所述第一配合部的外周壁与所述第一定位孔的孔壁相配合；滑动件，与所述导向件滑动配合，且与所述上电极机构固定连接；第二定位结构，用于限制所述滑动件与所述上电极机构的相对位置和旋转自由度；所述第二定位结构包括设置在所述上电极机构的底板上，且沿竖直方向贯通所述底板的定位通孔；所述滑动件的外周壁与所述定位通孔的孔壁相配合；驱动装置，用于驱动所述上电极机构和或所述滑动件相对于所述腔室作升降运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 开盖机构及半导体加工设备

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