申请/专利权人：无锡亚迈微电子有限公司

申请日：2023-09-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220760283U

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型属于晶圆清洗机构领域，具体的说是一种晶圆密闭清洗机构，包括箱体；所述箱体的前侧转动连接有上箱门与下箱门，所述箱体的内部顶面安装有除水雾组件，所述箱体的内侧固定连接有操作平台，所述操作平台的底面连接有连接槽所述连接槽的底端连接有第二收集管，所述操作平台的底面安装有第二电机，所述第二电机的输出端连接有旋转盘，所述旋转盘的内部顶面连接有限位柱，所述操作平台的顶面固定连接有挡板,所述箱体的内部底面放置有第二收集槽；通过设置的除水雾组件，能够对箱体内部顶面的水雾进行吸收，避免箱体内部顶面的水雾积累过多，使污水滴到晶圆的表面，造成对晶圆的二次污染，从而增加了本装置的实用性，便于进行推广使用。

主权项：1.一种晶圆密闭清洗机构，其特征在于：包括箱体1；所述箱体1的前侧转动连接有上箱门2与下箱门3，所述箱体1的内部顶面安装有除水雾组件4，所述箱体1的内侧固定连接有操作平台5，所述操作平台5的底面连接有连接槽6所述连接槽6的底端连接有第二收集管7，所述操作平台5的底面安装有第二电机8，所述第二电机8的输出端连接有旋转盘9，所述旋转盘9的内部顶面连接有限位柱10，所述操作平台5的顶面固定连接有挡板11,所述箱体1的内部底面放置有第二收集槽12，所述箱体1的后侧设置有蓄水箱13，所述蓄水箱13的顶端连接有连接软管14，所述连接软管14的一端连接有摆动管15，所述摆动管15的外表面连接有摆动组件16，所述摆动管15的外表面固定连接有喷头17。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡亚迈微电子有限公司 一种晶圆密闭清洗机构

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