申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN117316843A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本发明提供一种外延片面对面放置传输系统，其包括用于制备外延片的反应腔室，输送外延片的输送腔室，反应腔室与输送腔室相连接且连接处可选择地进行密封；可用于放置晶圆的两个以上的放置盘，放置盘上开设有放置凹槽；可承载放置盘的第一机械手和第二机械手，与第一机械手和第二机械手连接并可带动第一机械手和第二机械手在反应腔室和输送腔室中移动的三维移动机构，第一机械手可带动放置盘旋转，使放置盘翻转180度；与放置盘的放置凹槽连接的可选择地将外延片固定在放置凹槽内的外延片固定机构；该外延片面对面放置传输系统，可有效地降低外延表面与空气污染时间，避免夹具对外延表面造成损伤。有利于在后续需要面对面处理外延片的工艺流程。

主权项：1.一种外延片面对面放置传输系统，其特征在于，包括用于制备外延片的反应腔室，输送外延片的输送腔室，反应腔室与输送腔室相连接且连接处可选择地进行密封；可用于放置晶圆的两个以上的放置盘，放置盘上开设有放置凹槽；可承载放置盘的第一机械手和第二机械手，与第一机械手和第二机械手连接并可带动第一机械手和第二机械手在反应腔室和输送腔室中移动的三维移动机构，第一机械手可带动放置盘旋转，使放置盘翻转180度；与放置盘的放置凹槽连接的可选择地将外延片固定在放置凹槽内的外延片固定机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种外延片面对面放置传输系统

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