申请/专利权人：西安航思半导体有限公司

申请日：2022-08-19

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN117590182A

主分类号：G01R31/26

分类号：G01R31/26;G01R1/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开

摘要：本发明公开一种DFN半导体器件用测试设备，其检测壳体两侧各设置有一制冷片，周向内壁上设置有若干个加热杆的风罩安装在检测壳体的后端面，一连接管分别设置在检测壳体两侧，该连接管两端各自与检测壳体、风罩连通，该旋转轴的一端与一位于风罩外侧的齿轮杆固定连接，连接壳体位于支撑板相背于检测壳体的一侧，其内部设置有第一活塞、第二活塞，此第一活塞、第二活塞上、下分布且在两者之间形成一气腔，第二活塞与连接壳体底部内壁之间设置有一弹簧，一第二支撑杆的上端与第二活塞连接，其具有探针的下端位于检测壳体内部。本发明既改善了检测壳体内部环境温度的均匀性，也可以实现探针与器件的软接触，降低了探针对器件造成损坏的概率。

主权项：1.一种DFN半导体器件用测试设备，包括：底座（1），其特征在于：还包括：连接壳体（3）、位于底座（1）顶部的检测壳体（2）以及安装在检测壳体（2）一侧的空气循环装置（4），所述底座（1）的两侧各自安装有一液压杆（5），一位于检测壳体（2）上方的支撑板（6）安装在两个液压杆（5）的顶部；在所述检测壳体（2）内部设置有一顶部中央开设有固定槽（7）的基板（201），该固定槽（7）用于放置待测器件，所述检测壳体（2）两侧各设置有一制冷片（8）；所述空气循环装置（4）包括连接管（9）、风罩（10）、具有扇叶（12）的旋转轴（11），该周向内壁设置有若干个加热杆（14）的风罩（10）安装在检测壳体（2）的后端面，一连接管（9）分别设置在检测壳体（2）两侧，该连接管（9）两端各自与检测壳体（2）、风罩（10）连通，从而在检测壳体（2）与风罩（10）之间形成“回”字形空气流道，所述旋转轴（11）位于风罩（10）内部，该旋转轴（11）的一端与一位于风罩（10）外侧的齿轮杆（13）固定连接，所述支撑板（6）的侧壁上安装有一驱动杆（15），此驱动杆（15）的端部具有与齿轮杆（13）啮合连接的齿槽（151）；所述连接壳体（3）位于支撑板（6）相背于检测壳体（2）的一侧，其内部设置有第一活塞（161）、第二活塞（162），此第一活塞（161）、第二活塞（162）上、下分布且在两者之间形成一气腔（17），所述第二活塞（162）与连接壳体（3）底部内壁之间设置有一弹簧（18）；一顶板（20）设置在连接壳体（3）上方，一安装在顶板（20）底部的第一支撑杆（27）可穿过连接壳体（3）顶壁与第一活塞（161）固定连接，一第二支撑杆（28）的上端与第二活塞（162）连接，其具有探针（29）的下端位于检测壳体（2）内部；所述支撑板（3）的两端各开设有一通孔（19），所述顶板（20）具有一用于嵌入通孔（19）的第一连接杆（21），在支撑板（6）下表面设置有一固定板（23），此固定板（23）的一侧安装有一电机（24），位于第一连接杆（21）下方的第二连接杆（25）与电机（24）输出轴固定连接，所述第三连接杆（26）分别与第一连接杆（21）的下端、第二连接杆（22）的上端转动连接，当电机（21）启动时，转动的第二连接杆（25）可带动第一连接杆（21）沿通孔（19）移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安航思半导体有限公司 DFN半导体器件用测试设备

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