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【实用新型】一种具有除尘功能的半导体芯片划片装置_无锡市芯通电子科技有限公司_202321937944.2 

申请/专利权人:无锡市芯通电子科技有限公司

申请日:2023-07-23

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN220612664U

主分类号:B23K26/38

分类号:B23K26/38;B23K26/142;B23K26/70

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.19#授权

摘要:本实用新型公开了一种具有除尘功能的半导体芯片划片装置,包括箱体,所述箱体的内部安装有激光划片设备,所述激光划片设备的下方设置有具有自动化的半导体放置台,所述箱体的底端面贯穿且固定安装有收集箱,所述收集箱的前端面安装有密封门板,激光划片设备在加工工件的过程中,通过启动两个气泵,使得两个吸尘管将灰尘和碎屑通入降尘箱的内部,此时进水管可将水流通入至喷淋管内,使得多个雾化喷头将水雾化喷出,可将通入至降尘箱内的灰尘进行降尘,使其落在降尘箱的底部,且加工过程中产生的较大块的碎屑和废料则落在收集箱的内部,从而达到将产生的灰尘和碎屑以及废料进行收集的效果,避免人工清理和打扫。

主权项:1.一种具有除尘功能的半导体芯片划片装置,包括箱体1,所述箱体1的内部安装有激光划片设备101,所述激光划片设备101的下方设置有具有自动化的半导体放置台103,其特征在于:所述箱体1的底端面贯穿且固定安装有收集箱2,所述收集箱2的前端面安装有密封门板201,所述收集箱2的左右两侧壁均连通有吸尘管3;两个所述吸尘管3的外侧壁均安装有气泵301,两个所述吸尘管3的另一端之间连通有位于收集箱2下方的降尘箱4,所述降尘箱4的内部安装有喷淋管401,所述喷淋管401的外侧壁连通有贯穿于降尘箱4顶端面的进水管402。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 无锡市芯通电子科技有限公司 一种具有除尘功能的半导体芯片划片装置

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