申请/专利权人：江西凤凰光学科技有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741862A

主分类号：G02B6/13

分类号：G02B6/13;G02B6/136;G02B6/124;G02B27/01

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种单母版双目衍射光波导制备方法，包括：分别将耦入光栅、转折光栅和耦出光栅加工在不同的基底上，且每个基底上还设有对应光栅的对准标记，将加工后的基底依次记为耦入区母版、转折区母版和耦出区母版，耦入区母版、转折区母版和耦出区母版共同作为一套单母版；分别将耦入区母版、转折区母版和耦出区母版转印，对应形成第一预处理样板、第三预处理样板和第五预处理样板；利用第一预处理样板、第三预处理样板和第五预处理样板对应获取右目衍射光波导和左目衍射光波导，各衍射光波导的制备过程中通过改变转折区的加工位置，使用一套母版即可加工出双目衍射光波导产品，大幅降低母版制作时间和成本，提高母版加工良率。

主权项：1.一种单母版双目衍射光波导制备方法，其特征在于：所述单母版双目衍射光波导制备方法包括如下步骤：S1、分别将耦入光栅、转折光栅和耦出光栅加工在不同的基底上，且每个基底上还设有对应光栅的对准标记，将加工后的基底依次记为耦入区母版、转折区母版和耦出区母版，所述耦入区母版、转折区母版和耦出区母版共同作为一套单母版；S2、分别将耦入区母版、转折区母版和耦出区母版转印，对应形成第一预处理样板、第三预处理样板和第五预处理样板；S3、利用第一预处理样板、第三预处理样板和第五预处理样板对应获取右目衍射光波导和左目衍射光波导，各所述衍射光波导的制备过程如下：S31、在对应高折玻璃层的表面涂覆第一高折树脂层，所述第一高折树脂层的涂覆面积覆盖耦入区母版上的耦入光栅和耦入光栅的对准标记所在区域；S32、将第一预处理样板转印至第一高折树脂层，并对第一高折树脂层上对应耦入光栅和耦入光栅的对准标记所在区域进行固化；S33、去除未固化的第一高折树脂层，固化后的第一高折树脂层附着在对应高折玻璃层上形成第二预处理样板，分离第一预处理样板和第二预处理样板；S34、在第二预处理样板的对应高折玻璃层上耦入光栅所在侧的表面或耦入光栅背离侧的表面涂覆第二高折树脂层，所述第二高折树脂层的涂覆面积覆盖转折区母版上的转折光栅和转折光栅的对准标记所在区域；S35、通过mark对位调整转折光栅的对准标记与耦入光栅的对准标记的相对位置，将第三预处理样板转印至第二高折树脂层，并对第二高折树脂层上对应转折光栅和转折光栅的对准标记所在区域进行固化；S36、去除未固化的第二高折树脂层，固化后的第二高折树脂层附着在对应高折玻璃层上形成第四预处理样板，分离第三预处理样板和第四预处理样板；S37、在第四预处理样板的对应高折玻璃层上耦入光栅所在侧或转折光栅所在侧的表面涂覆第三高折树脂层，所述第三高折树脂层的涂覆面积覆盖耦出区母版上的耦出光栅和耦出光栅的对准标记所在区域；S38、通过mark对位调整耦出光栅的对准标记与耦入光栅的对准标记或转折光栅的对准标记的相对位置，将第五预处理样板转印至第三高折树脂层，并对第三高折树脂层上对应耦出光栅和耦出光栅的对准标记所在区域进行固化；S39、去除未固化的第三高折树脂层，固化后的第三高折树脂层附着在对应高折玻璃层上形成第六预处理样板，分离第五预处理样板和第六预处理样板，所述第六预处理样板即为制备好的对应衍射光波导，且所述右目衍射光波导上转印的转折光栅和所述左目衍射光波导上转印的转折光栅在不同高折玻璃层上处于异侧，或所述右目衍射光波导上转印的耦入光栅和所述左目衍射光波导上转印的耦入光栅在不同高折玻璃层上处于异侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西凤凰光学科技有限公司 一种单母版双目衍射光波导制备方法

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