申请/专利权人:西安电子科技大学芜湖研究院;西安电子科技大学
申请日:2024-01-19
公开(公告)日:2024-03-26
公开(公告)号:CN117766567A
主分类号:H01L29/06
分类号:H01L29/06;H01L29/861;H01L21/329
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开
摘要:本发明涉及一种可控型二极管雪崩整型器及其制备方法,雪崩整型器包括:衬底层、N‑外延层、P+外延层、N+区、阴极、第一阳极、第二阳极和氧化层,其中,N+区由P+外延层的部分上表面延伸至P+外延层的内部;第一阳极位于P+外延层上;第二阳极位于N+区上;氧化层位于P+外延层和N+区交界处的上表面,且两端分别与第一阳极、第二阳极接触。通过第二阳极在N+区施加电压,大量电子在衬底层和N+区电势差的作用下,进入P+外延层和N‑外延层之间的P+N‑结或耗尽层中,为器件发生延迟雪崩提供初始载流子,使得器件发生延迟雪崩,实现器件的可控效果,拓宽了器件的应用场景,提高了器件的性能发挥程度。
主权项:1.一种可控型二极管雪崩整型器,其特征在于,包括:衬底层、N-外延层、P+外延层、N+区、阴极、第一阳极、第二阳极和氧化层,其中,所述N-外延层位于所述衬底层上;所述P+外延层位于所述N-外延层上;所述N+区由所述P+外延层的部分上表面延伸至所述P+外延层的内部;所述阴极位于所述衬底层的下表面;所述第一阳极位于所述P+外延层上;所述第二阳极位于所述N+区上;所述氧化层位于所述P+外延层和所述N+区交界处的上表面,且两端分别与所述第一阳极、所述第二阳极接触。
全文数据:
权利要求:
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