申请/专利权人：吉林大学

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117773661A

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B23K26/352

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种基于纳秒激光及复合离子束蚀刻的CVD金刚石抛光方法，属于材料表面抛光技术领域，包括：步骤一、金刚石样品的清理；步骤二、采用纳秒激光对样品进行抛光；步骤三、离子束蚀刻抛光样品：对激光抛光后的样品进行超声清洗，去除表面的杂质颗粒；之后将样品放入离子束蚀刻仪器中对样品进行离子束蚀刻。本发明采用纳秒激光加工系统和离子束蚀刻仪器，通过调节激光加工参数和离子束加工参数来解决金刚石高效抛光的问题；本发明通过纳秒激光先将金刚石表面的一部分凹凸结构进行烧蚀去除，同时利用激光的高能量将表面石墨化，之后再通过离子束蚀刻技术进行去石墨层并且减小激光抛光导致的微裂痕和热损伤，从而达到优异的抛光效果。

主权项：1.一种基于纳秒激光及复合离子束蚀刻的CVD金刚石抛光方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤一、金刚石样品的清理：利用丙酮、乙醇、去离子水溶液依次在超声清洗机对样品进行超声清洗1-10分钟，去除样品表面的浮尘颗粒；步骤二、采用纳秒激光对样品进行抛光；步骤三、离子束蚀刻抛光样品：首先，对激光抛光后的样品进行超声清洗1-10分钟，去除表面的杂质颗粒；之后将样品放入离子束蚀刻仪器中，调整氩离子束的流速、通入量、离子束加速电压及离子束入射角度，设置离子束抛光时间后关闭腔室对样品进行离子束蚀刻。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种基于纳秒激光及复合离子束蚀刻的CVD金刚石抛光方法

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