申请/专利权人：大连皓宇电子科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220685240U

主分类号：C23C16/505

分类号：C23C16/505;C23C16/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种应用在PECVD上的多支路分配装置，包括第一高频汇流板、低频输入板和多个分配支路，每个分配支路设有顺序相连的低频滤波机构、谐振组合机构和输出机构；所述低频输入板位于第一高频汇流板上方，所述第一高频汇流板与高频输入端子相连，所述第一高频汇流板、低频输入板均与每个分配支路的低频滤波机构相连，所述第一高频汇流板还与输出机构相连。本装置可以用于提高电源质量、降低干扰、实现频率选择性分配以及保护目标喷淋头，从而确保射频电源的有效分配和传输。

主权项：1.一种应用在PECVD上的多支路分配装置，其特征在于，包括第一高频汇流板、低频输入板和多个分配支路，每个分配支路设有顺序相连的低频滤波机构、谐振组合机构和输出机构；所述低频输入板位于第一高频汇流板上方，所述第一高频汇流板与高频输入端子相连，所述第一高频汇流板、低频输入板均与每个分配支路的低频滤波机构相连，所述第一高频汇流板还与输出机构相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连皓宇电子科技有限公司 一种应用在PECVD上的多支路分配装置

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